Venus2000检测系统

 

 

    支持:

 

    》线宽/套刻/缺陷三合一成效

    》0.5um以上线宽量测

    》用户自定义缺陷检测

    》提供校准补偿成效

    》全自动聚焦成效

    》反射与透射测量成效

    》双屏显示器同时操作成效

 

 

  产品介绍:

 

  芯硕Venus2000检测创办可畅快半导模样程中的光学检测需求,同时具有套刻、线宽和缺陷检测三种成效,可畅快90nm工艺节点的套刻测量,0.5um以上的线宽测量及用户自定义的缺陷检测。Venus系列产品采用杰出的图形统治技术和成像系统,具有测量精度高、速度速、应用灵巧等特征,主要应用于半导体工艺、微纳加工、MEMS、LED等范畴中的良率驾御。

 

 

 

  指标